원리 및 기능
FIB 칠러 이상, 전자빔 이상으로 인해서 사용이 불가능합니다.
고장이 계속 발생하여 타기기 수리비 사용 후 수리가 가능할 것 같습니다.
FIB 사용 예약은 매주 목요일까지 그 다음주 일정을 담당자와 전화(062-530-3503) 협의 후 예약해 주시기 바랍니다.
(매주 금요일 오전 9:30에 FE-TEM OPEN으로 인해 목요일까지 예약하지 않은 경우 다음주 일정 배정 불가)
For reservations for FIB use, please make a reservation after consulting with the person in charge by phone (062-530-3503) for the next week's schedule by every Thursday.
(Due to FE-TEM OPEN at 9:30 am every Friday, if you do not make a reservation by Thursday, you cannot be assigned to the next week's schedule)
FIB를 이용한 TEM 시편 제작은 Si 기준 3시간 소요됩니다. 물질에 따라 이용시간이 다르게 소요되므로 예약시 담당자와 상의 후 사용시간을 조정하시기 바랍니다. 시료 정보와 원하는 바를 명확히 말씀해 주셔야 좋은 결과를 얻을 수 있습니다.
FIB 담당자가 Bio-TEM, FE-TEM을 함께 맡고 있으니, FIB 예약시 전화로 담당자와 일정 조정후 예약해 주시기 바랍니다. 사전협의없이 임으로 신청시 예약시간이 변경되거나 취소 될 수 있습니다.
It takes 3 hours based on Si to make a TEM specimen using FIB. Depending on the substance, the usage time is different, so please adjust the usage time after consulting with the person in charge when making a reservation. In order to obtain good results, you must clearly state the sample information and what you want.
Since the FIB manager is in charge of both Bio-TEM and FE-TEM, please make a reservation after adjusting the schedule with the person in charge over the phone when making a FIB reservation.
Reservation time may be changed or canceled without prior consultation.
기기 분석료를 납입한 경우에만 분석 결과를 받아보실 수 있습니다.
단, 특별한 사유가 있는 교내 및 타대학의 경우(홈페이지 우측 하단의 사유서 양식, 업로딩)에 한해 분석 결과 통지 후(개별 e-mail로 통지) 납입하실 수 있습니다. 그리고 업무처리 process가 아래와 같이 변경됩니다.
<기기신청(예약) → 분석 → 결제 → 분석결과 통지>
You can receive analysis results only if you have paid the instrument analysis fee.
However, payment can be made after notification of the analysis result (individual e-mail notification) only in cases where there is a special reason (the reasoning form at the bottom right of the website, uploading). And the business process is changed as follows.
[Device application (reservation) → Analysis → Payment → Notification of analysis result]
청구서 및 증빙서류 발급안내
1. 결제신청하기
마이페이지 ▶ 결제하기(신청) ▶ 신청할 내역 선택 ▶ 결제신청
2. 발급문서확인
마이페이지 ▶ 발급문서내역 ▶ 결제완료 및 신청한 내역에 대한 문서발급
집속이온빔(Focused Ion Beam, FIB)전자현미경은 재료의 형상 및 성분 분포 관찰을 위해 시편제작 및 관찰에 활용되는 기기이며, 개발초기에는 주사전자현미경(SEM)의 단면관찰용 시료제작으로 사용되다가 점차 TEM 단면관찰 시료 제작에 효과적으로 사용되고 있다. FIB의 특징은 미소영역에 대한 포인트 관찰을 가능케 하고, 다른 종류의 여러 재료를 균일한 두께로 연마할 수 있고 신속하게 시료를 제작할 수 있다는 점이다. 최근에는 나노기술의 발전과 함께 3차원 나노구조의 형성, 복잡한 미세가공, 마이크로/나노사이즈의 미세입자 가공, 현미경시료 마무리 가공, 고 종횡비 가공, 반도체배선수정, 마이크로 정밀금형 가공 등 가공프로세스에 폭 넓게 응용되고 있거나 응용가능성이 많다.
기기 분석료를 납입한 경우에만 분석 결과를 받아보실 수 있습니다.
단, 특별한 사유가 있는 교내 및 타대학의 경우(홈페이지 우측 하단의 사유서 양식, 업로딩)에 한해 분석 결과 통지 후(개별 e-mail로 통지) 납입하실 수 있습니다. 그리고 업무처리 process가 아래와 같이 변경됩니다.
<기기신청(예약) → 분석 → 결제 → 분석결과 통지>
You can receive analysis results only if you have paid the instrument analysis fee.
However, payment can be made after notification of the analysis result (individual e-mail notification) only in cases where there is a special reason (the reasoning form at the bottom right of the website, uploading). And the business process is changed as follows.
[Device application (reservation) → Analysis → Payment → Notification of analysis result]
기기활용
- 고에너지의 Ga 이온빔을 이용하여 시료의 절단(milling), 및 이미지 관찰
- Pt, Carbon을 증착을 통한 패턴 및 형상 제작
- TEM 관찰을 위한 박막시료를 제작하고 미세장치를 이용하여 그리드에 장착함
- 장착된 전계방출주사전자현미경을 이용하여 처리된 표면 구조 관찰
사양
1. Electron optics
(1) Electron Beam Resolution
- 0.8 nm @ 15keV, 1.4nm @ 1 keV
(2) Accelerating voltage : 20 eV – 30 keV
(3) High stability Schottky thermal field emitter
2. Ion optics
(1) Ion Beam Resolution
- 2.5 nm at 30kV
(2) Accelerating voltage : 1 kV to 30 kV
(3) Beam current : 1pA to 65nA (15-position aperture strip)
(4) Liquid Gallium ion emitter with two-stage differential pumping
3. Eucentric goniometer stage, 5-axis motorized
(1) X, Y: 50mm
(2) Z: 22mm motorized
(3) Tilt : -1.5° ~ +58°
(4) Rotation : 360°
(5) XY repeatability : 3µm at 0°
(6) Max Sample weight : 2kg (at 0° tilt including sample holder)
(7) The system should be possible to upgrade the Piezo Stage
4. NanoManipulator system
Embedded SW controlled sample lift out manipulator system and rotation
(1) Drift : 50nm/min
(2) Smallest step size : 50nm
(3) True Z movement over 5um move : 500nm
(4) Vibration : 15nm
(5) Omnidirectional repeatability : ±150nm
(6) Motorized Rotation
5. Scanning system
High-resolution digital scanning engine controlled from the user interface
(1) Resolution: 512x442, 1024x884, 2048x1768, 4096x3536 pixels (conventional)
768x512, 1536x1024, 3072x2048, 6144x4096 pixels (wide screen)
(2) Minimum dwell time: 25ns/pixel
(3) Electronic scan rotation by 360 degrees
6. Vacuum system
This FIB system must have complete oil free vacuum system
(1) 1 x 210l/s turbo molecular drag pump
(2) 1 x PVP (dry pump)
(3) 4 x IGP (total for electron column & ion column)
(4) Chamber vacuum: < 2.6 x 10-6 mbar
7. Chamber
(1) E- and I-beam coincidence point at analytical WD
(2) Chamber inner size 379mm(Ø)
(3) 21 ports
8. Detector
(1) In-lens TLD SE and BSE detoector
(2) Everhart-Thornley Secondary electron detector
(3) IR Camera
(4) Chamber integrated Navigation camera
(5) Retractable solid state Backscatter detector
9. Imaging
(1) Displayed in 1536 x 1024 pixels, single or 4 quadrant display(768 x 512 pixels)
(2) One of the 4-quad images can be displayed in 2nd LCD monitor
(3) Live images are available up to 4 channels
(4) Saved image format: TIFF, BMP, JPEG in 8-bit, 16-bit depth
(5) Image printing is available from the user interface
(6) Integrated Real-Time Monitor: displays a live image within the pattering window during ion beam patterning. Can provide instant feedback on the ion beam process.
