탐침과 시료간에 작용하는 힘을 이용하여 시료 표면를 측정하는 현미경이다. 미세한 움직임을 위해 피에조라는 물질을 사용한 스캐너를 이용한다. 이로 인해 스캐너의 크기에 따라 최소 단위 0.01nm의 분해능을 가진 움직임을 실현할 수 있다. 일반적으로 3축 데이터를 측정하여 이미지를 획득하고 표면 거칠기를 분석하는데 이용되고 있다.

* 기계적 분해능 : 수평 0.1nm 수직 0.01nm
* 스캐너 크기 : 100 um * 100um * 15um
* 이미지 크기  : 200nm * 200nm  ~ 100 um * 100um

* 측정 모드
- non contact mode
- contact mode
- I-AFM
- EFM
- MFM
- SCM
- SSRM